MEMS（微機電系統）是在半導體制造技術基礎上發展起來，是微電路和微機械按功能要求在芯片 上的集成，基于光刻、腐蝕等半導體技術，融入超精密機械加工，并結合材料、力學、化學、光學 等，使一個毫米或微米級別的 MEMS 系統具備精確而完整的電氣、機械、化學、光學等特性。

MEMS 器件主要包括傳感器、執行器、微能源等，傳感器較為成熟，執行器和微能源多處于起步 階段：
傳感器：MEMS 傳感器是目前應用較為成熟的 MEMS 器件，包括壓力傳感器（還可以通過壓力傳感器測量氣壓、高度）、慣性傳感器（加速計、陀螺儀、地磁傳感器，或二合一、三合一的組合）、 MEMS 麥克風、環境傳感器（溫濕度）、熱輻射等。其中慣性傳感器、MEMS 麥克風幾乎已經成為新型設備的標配，溫濕度、壓力等圖說智能傳感器在移動終端尤其是部分穿戴式設備上的應用也有望迅速 鋪開。
執行器：MEMS 執行器也有部分較成熟的應用，如流量控制（噴墨頭），射頻器件里的 BAW（體 聲波）濾波器、BAW 雙工器等，但未來大量的應用場景不止于此，例如 MEMS 振蕩器/諧振器、 MEMS 揚聲器、MEMS 攝像頭、MEMS 反射鏡（用于微投領域）等。
微能源：MEMS 燃料電池能量密度高，用 MEMS 燃料電池代替目前的手機電池可使理論續航時間 延長至數周，但目前成本高達 300 美金左右。
各 MEMS 器件所處的應用階段（紅色=傳感器、藍色=執行器、紫色=微能源）

 MEMS 具有體積小、重量輕、功耗低、耐用性好、價格低廉、性能穩定等優點，MEMS 系統的獨 特特性使之在很多領域具有應用潛力，盡管已經有不少應用，但整體來說 MEMS 市場仍處于起步 階段，大量的 MEMS 系統仍具備廣闊的市場潛力。全球來看，MEMS 當前市場規模約為 120 億美元，有望在 2020 年達到近 200 億美元，年復合增 速達到 11.6%，遠超傳統半導體行業個位數的增速。其中組合慣性傳感器、微顯示等將呈現高速 成長。整體而言，MEMS 傳感器有更廣泛的應用領域和產品，在整個 MEMS 市場所占份額超過 70%。隨 著 MEMS 執行器生產技術的成熟和應用場景的增加，未來也會實現快速增長。

MEMS 全球市場規模（十億美元）

 由于近年來硬件創新市場逐漸轉移國內，中國市場對于 MEMS 傳感器的需求增速遠高于全球 MEMS 市場增速，約 13.9%，到 2020 年總市場規模近 60 億美元。
中國 MEMS 傳感器市場規模

 MEMS 當前主要應用在消費電子、汽車等領域，隨著產品的不斷成熟，航空航天、醫學和工業的 應用也逐漸普及。
 　　　　　　　　　　　　　　　　　　MEMS 的主要應用領域

 2010 年開始在 MEMS 麥克風、慣性傳感器等帶動下，MEMS 市場開始進入快速成長期，從下游 應用來看，目前汽車和消費電子是最主要的應用領域，而在2010 年至 2015 年期間，汽車的復合 年增長率為 6.8%，高于消費電子的 5.1%CAGR。MEMS 是未來幾年增長潛力最大的電子元器件，室內導航、背景識別、關鍵詞識別、全 時開機、全時聆聽、更準確的動作識別等功能都對MEMS 提出新需求。 由于消費電子領域的基礎創新較快，MEMS 也成為其重要的創新基礎元件，下游應用領域中快速 成長的仍然是消費電子領域，2015 年至 2020 年的 CAGR 為 10.9%。 自 2015 年至 2020 年汽車、工業、醫療的 CAGR 分別 4.3%、7.7%、11.8%。
按應用類別劃分全球 MEMS 市場總規模（億美元） 

中國的 MEMS 行業按下游應用來看，汽車和消費電子同樣是主要的增長動力，2010 年至 2015 年 汽車和消費電子領域的 CAGR 分別為 12.4%和 10.6%。 未來，由于中國消費電子和汽車的產業鏈國產化進程快速，仍將保持高速增長，消費電子的 年復合增速預測將達到 17.2%，汽車增速為 10.3%。
中國 MEMS 市場按下游應用劃分情況（億美元）